理由3：真空plasma设备在待机状态下正常状况下机械泵工作，plasma清洗后亲水性主要是通过开启和关闭真空隔板阀(隔板阀)完成真空室的抽真空功能。当发生机械泵（倒）计时故障、机械泵热过载故障、电源偏移和反射过大等报警时，设备将自动停止工作，以防止设备关键配件损坏。概要：plasma设备报警报警出
