一对形成的PDMS基板可以通过分子间的吸引力自然结合，制备亲水性高分子无需任何处理。但是这样的附着力不够，很容易漏气。目前，PDMS与硅衬底之间的低温键合方法有很多。在制作硅-PDMS多层结构微阀的过程中，PDMS直接旋转并凝固在硅片上，实现硅-PDMS薄膜的直接粘接。该方法属于可逆粘结，粘结强度不
