3.4 顺流等离子体清洗 顺流等离子体也叫源室分腔式等离子体DPE，如何改善pet膜的亲水性发作等离子体的源坐落等离子发作腔，待清洗的工件坐落工艺腔，把气相反响粒子、原子团、光子等引进工艺腔，对工件进行清洗，把离子、电子基本滤除去。2.45GHz顺流等离子体类型是用于封装类等离子清洗的主要形式，适于
