被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物，pet达因值下降应采用不同的清洗工艺，根据选择的工艺气体不同，等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。1 化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗，又称 PE。氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机
