.. 3、功率和频率对等离子清洗效果的影响：电源功率影响等离子的各种参数，电感耦合等离子体光源有几部分组成优点是什么如电极温度、等离子产生的自偏压、清洗等。效率。随着输出功率的增加，等离子清洗率会逐渐增加，然后逐渐增加。自偏置电压随着输出功率的增加而不断增加，但逐渐稳定在峰值。由于功率范围基本恒定，
