印版放置在印版上或悬浮在平行板之间，pce-6plasma除胶机器平行板之间是等离子体原始区域，密集的有源等离子体集中于此。在真空室中，设计了多组并联电极同时容纳多个印版供等离子设备加工。平行板的数量取决于真空室的大小，等离子体装置在每组平行板上分配相同的能量，从而在电极之间产生稳定的电流。我们研发
