对PCVD过程进行了数值模拟，pce-6等离子刻蚀机采用宏观和微观多级模型对等离子体过程的各种性能以及涂层和基体的附着力进行了模拟和预测。用计算机模拟金属表面渗层的性能和应力，可以更好地控制和优化工艺过程。在20世纪的整整半个世纪里，物理学的思想和方法主导了新材料的发现和制备。20世纪50年代以来，
