反应离子腐蚀相结合的两种机制,物理反应和化学反应起着重要的作用,相互促进,其作用具有良好的选择性,清洗率、均匀性,和良好的direction.3.4下游等离子cleaningThe下游等离子体也被称为源-室分离室等离子体DPE，原装正品德国PE附着力剂等离子体攻击源位于等离子体攻击室，待清洗工件位于
