在玻璃盖上使用超声波清洗通常会留下许多肉眼看不见的有机化合物和颗粒，o2等离子刻蚀无疑给下一步的处理步骤留下了风险。等离子清洗机可以更好地清洗玻璃盖板。清洗玻璃盖板表面的主要作用是活化，将有机污染物化学转化为碳氢化合物、CO2和水，并从表层去除。加快下一阶段的玻璃盖板加工、蚀刻、镀膜、粘接等加工工艺
