图4 DC和AC在电极上的波形2. 1影响VDC要素2.1.1反响腔的尺度和刻蚀模式VDC为电极和等离子体间的电压降；A1为电极1的面积，t细胞表面的第二活化信号A2为电极2的面积，n为指数因子，一般1该公式可适用于任何电极结构，假如电极1加载功率，电极2接地，其VDC构成如下图所示。铝是一种常见的
