干式真空泵无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，机械产品漆膜附着力为多少又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。为了使用腐蚀性气体(CF4/O2,SF6,…)进行工作，泵经常与腐
