等离子清洗装置的机理是在真空泵的情况下，附着力增强方法降低压力，增加分子间的距离，降低分子间的相互作用力。工业气体被高反应性离子冲走。与有机和颗粒污染物反应或碰撞形成挥发物的高能。工作气流和真空泵去除挥发物以进行表面清洁和活化。这是一种彻底的剥离清洗方法，不含废液、金属、半导体和氧化物，而且大部分高
