工艺气体和基体材料由真空泵抽出，PTFE等离子清洁表面不断被新工艺气体覆盖。蚀刻部分不希望被材料覆盖（例如，半导体工业使用铬作为涂层材料）。等离子方法也用于蚀刻塑料表面，使填充的混合物与氧气一起焚烧，同时进行分布分析。蚀刻方法作为印刷和粘合塑料（如 POM、PPS 和 PTFE）的预处理非常重要。等
