气体成分变成反应性官能团（或官能团），提高磷化附着力加金属使物质表面发生物理和化学变化。因此，可以去除污迹，提高镀铜的结合力。用于净化刚性柔性印刷电路板中的微孔的气体是 CF4 和 O2。 CF4和O2进入等离子装置的真空室后，CF4和O2气体在等离子发生器的高频高压电场作用下发生解离或相互作用
