例:H2+e-→2H※+e- H※+非挥发性金属氧化物→金属+H2O从反应式可见,PE亲水性处理氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,清洁金属表面。物理清洗:表面反应以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。由于等离子表面处理机喷出的低温等离子表面处理炬不带电,PE亲水性可加工金