二是在线（连接）大气喷射等离子清洗机，IC等离子体表面处理机根据用户产品的生产目的、产能、生产路线、工艺特点等因素设计，可直接在生产线上组装。主要由定制用户。功率连续调节，可根据需要调整喷嘴结构，以适应不同的生产宽度。根据支持等离子清洗机放电的喷嘴数量，喷嘴可分为单喷嘴大气喷射等离子清洗机和多喷嘴大
该方法仍在讨论中，IC等离子清洗机器需要更多来自行业的实验数据来验证。等离子刻蚀对LOW-K TDDB的影响主要体现在两个方面。一个是蚀刻过程中等离子体造成的 LOW-K 损伤，另一个是蚀刻定义的图案尺寸和均匀性。 LOW-K材料SICOH沉积后，材料分子的网络结构稳定且排列规则，但蚀刻工艺打断了这