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ICPplasma表面清洗
ICPplasma表面活化(ICPplasma表面清洗)
数万度的高能电子与气体分子(原子)发生非弹性碰撞,ICPplasma表面活化将能量转化为基础分子(原子)的内能,发生激发、离解、电离等一系列过程,产生气体。处于活性(化学)状态。当电子能量较低(
2023年07月19日
ICPplasma表面活化
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