FCA半自动控制，FCBplasma表面清洗设备发电机13.56MHz/0~WFCA200自动控制，发电机13.56MH2.45GHz/0~300W，温控系统控制单气FCA300自动控制，发电机13.56MHz2.45GHz/0~300W，温控系统双向气体产品特点：&UUML；机柜结构，内置真空泵，
