当等离子体能量密度为860 kJ/mol时，CCP等离子体清洁机C2H6的转化率为23.2%，C2H4和C2H2的总收率为11.6%。在流动等离子体反应器中，一般认为当反应气体的流量恒定时，系统中的高能电子密度及其平均能量主要由等离子体能量密度决定。等离子体功率增加，系统中高能电子密度及其平均能量增
