另外，BGA等离子除胶低温等离子清洗机的腔体多为外环形电气级，不易污染内部腔体。清洁低温等离子清洗机所需的等离子在某些环境中很重要，例如低压混合气体的明亮等离子。重要的过程如下：首先将清洗过的工件送入真空室，固定后真空泵等设备开始抽真空至10PA左右。使用的混合气体也不同（O2、H2、AR、N2等）
