由于功率尺度基本稳定，隧道里附着力减小吗视频频率是影响等离子体自偏置的关键参数，且随着频率的增加，自偏置逐渐减小。此外，随着频率的增加，等离子体中电子的密度逐渐增大，而粒子的均匀能量逐渐减小。2.4操作气体选择对等离子体清洗效果的影响工艺气体的选择是等离子体清洗工艺规划的关键步骤。虽然大部分气体或气
