反应性气体等离子体作用反应性气体指一些无机气体或易挥发的无机化合物,常用的有O2、N2、CO2、H2O、NH3、SO2等。与非反应性的惰性气体不同,以反应性气体的等离子体处理时,气体原子可以结合到聚合物链上,在聚合物链上形成相关的官能团。由于等离子体清洗是在高真空下进行的,附着力等级百格iso等离子