在低温等离子体处理过程中，美国WAM一3附着力单体利用高能电子轰击载气（氮、氧）引起电离和分化，进而自由基/离子与目标气体分子发生反应；在此过程中，产生许多不能使用的离子/自由基，共同消耗大量电能。因此，美国橡树岭国家实验室的研究人员认为，低温等离子体工艺虽然优于热等离子体工艺，但其能量利用率太低。
