等离子体与固体、液体或气体一样，附着力促进剂的成分是一种物质状态，也被称为物质的第四种状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、改性、光刻胶
