从湿法清洗和等离子清洗机等离子清洗后的RHEED图像中发现，锌层附着力差怎么处理湿法处理后的SiC表面有虚线，湿法处理后的SiC表面有凹凸不平，局部有突起。等离子处理的 RHEED 图像有条纹，显示出非常平坦的表面。传统湿法处理的 SiC 表面上存在的主要污染物是碳和氧。这些污染物可以在低温下与 H
