那时候我们国产设备只能提供基本的清洁服务，铝片表面改性的原理是怎样的例如清除晶圆表面的有机污染物；听到更多的话就是不认可国产设备。确实如此，那时候的我们对这个行业也不够了解，没有一定的技术积累，中高芯片制造企业也不敢冒险。选择进口等离子设备是芯片制造企业的无奈之举，毕竟国产等离子设备起步较晚，从业人
