这些官能团是活性基团，附着力的近义词可以显着提高材料的表面活性。电子在不同条件下与不同粒子的碰撞对新能量粒子的产生和加速等离子体化学反应的发展起着重要作用。这包括半导体材料的等离子体蚀刻和等离子体增强化学气相沉积，以及一些环境应用。例如，等离子体中的二次电子键用于去除（去除）不需要的化合物并分解氮化
