等离子清洗机在沉积过程中的应用可分为四个步骤。(1)电子与反应气发生电子碰撞反应产生离子和自由基；(2)活性成分从等离子体向基底表面传输；(3)活性成分通过吸附作用或物化作用沉积到基底表面；(4)活性成分或反应产物成为沉积膜的组成成分。高密等离子体化学气相沉积过程中，金门定制等离子清洗机沉积与刻蚀经
