它非常广泛，金属表面改性及强化技术在仪器的反应室中装有电极。托盘有效等离子体区域的整体均匀加热是在物体托盘上进行的，水冷已成为促进外壁和等离子体处理过程的有效方法。腔室周围有真空门。许多产品都被有机物污染，例如玻璃表面的油、环氧基聚合物、氧化物（如氧化银、氧氮化物、光刻胶、焊料残留物和金属盐）。不同
