考虑到其在硅集成电路技术中的重要地位，亲水性介质概念SiO2薄膜有望成为高灵敏度薄膜材料。微集成声学传感器的制备。但是SiO2薄膜的驻极体电荷在高温下很容易流失，而且由于SiO2薄膜具有良好的亲水性，随着环境湿度的升高，表面电导急剧增加，导致SiO2薄膜表面积聚。表面附近的驻极体电荷很容易衰减，限制
