测量和诊断等离子体参数的方法有很多，金属等离子刻蚀机但朗缪尔探针法仍然是一种常见的诊断方法，但是这种朗缪尔探针法是什么样的呢？朗缪尔探针法基本上使用静电探针，将金属探针插入等离子体并施加正或负偏压来收集电子或离子电流。与其他电极一样，探头周围形成了一个护套，其面积通常很小，因此在适当的条件下，等离子
