在电场作用下，附着力等级0啥意思碰撞形成等离子体，产生辉光放电。辉光放电时的气体压力、放电功率、气体成分、流速、材料种类等对材料的刻蚀效果有很大影响。由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外光，对刻蚀速率有非常积极的影响，气体中含有中性粒子、离子和电子。这台等离子表面处理机有三个显著的特点:1。等离子体
