因为蚀刻后的沟槽总是有一定的角度，金属漆 底漆附着力不好如85电介质的上表面宽度不仅取决于蚀刻的大小，还取决于化学机械研磨的深度。良好的蚀刻和化学机械研磨工艺的均匀性对整个晶圆的均匀性至关重要。不同于互连金属之间的介电宽度可调谐性很低，通过改变通孔蚀刻工艺，互连金属线之间的介电宽度可大大调节。pla
