2）系统控制单元：分为三种，金属材料表面改性工艺论文按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。2.真空腔体：真空腔主要分为两种材料：1）不锈钢真空腔，2)石英腔。三。真空泵：真空泵分为两种：1）干式泵，2)油泵。等离子体刻蚀基底表面；在等离子体刻蚀过程中，被刻蚀物体会在处理
