氧气用于清洁，荒川高附着力最好的树脂将非挥发性有机（有机）物质转化为挥发性形式，从而产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洗速度快，选择性高，对（有机）污染物的清洗更有效。主要缺点是产生的氧化物可以在材料表面重整。在电线键合过程中，氧化物是不可取的，可以通过正确选择过程参数来避免这些缺点。
