就反应机理而言，微波等离子清洗机价格等离子体清洗通常包括以下过程：a.无机气体被激发成等离子体状态；b.气相物质吸附在固体表面；C.吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；D.分析产物分子形成气相；E.反应残留物从表面除去。气体被激发成等离子体的途径很多，如激光、微波、电晕放电、热电离、电弧放电等。
