等离子蚀刻机使用高频辉光放电反应将反应气体活化成活性粒子，进口等离子电浆机哪家好例如原子和自由基。这些活性粒子在需要蚀刻的地方扩散并与蚀刻材料反应形成挥发性反应物。 , 这种蚀刻方法也称为干法蚀刻。等离子清洗蚀刻技术应用了等离子的特殊特性。等离子清洗和蚀刻技术的成型装置是使用进口的真空泵在密闭容器中
