低电压气体辉光法是一种依靠等离子体的有效成分进行反应。它的主要过程包括：先将需要清洁的工件送到真空系统固定，属于亲水性成分真空泵等设备逐渐将真空排出约10Pa的真空度；然后将等离子清洗气体导入真空系统。根据清洗材料的不同，可选用不同的气体，如氧、氢、氩、氮等。在电子工业中属于干式清洗，需要真空泵制造
