因此，不锈钢的表面达因值是多少设计等离子清洗设备的腔体应该由铝制成，而不是不锈钢。用于放置晶片的支架的滑动部分应由耐灰尘和等离子腐蚀的材料制成。电极和支架已被移除，以方便日常维护。 2、等离子刻蚀反应室的电极间距和层数、气路分布要求、电极间距、层数、气路分布等参数对晶圆均匀性有显着影响。这些指标应不
