输入射频可以将气体电离成等离子体状态，表面改性的方法和用途其中包含带电粒子，如正离子、负离子、自由电子和具有相同正负电荷的中性粒子。这类等离子体在经过化学和物理作用清洗过的设备表面进行处理，以达到分子水平的去污去污效果。在厚膜HIC的情况下，由于其过程繁多且复杂，其中大多数是典型的氧化和有机污染。离
