氩等离子体蚀刻机处理TiO2塑料膜会引入氧空位，蚀刻气体对于纯度的要求水会中和这些氧空位形成OH基团，从而提高TiO2塑料膜的润湿性。氩等离子体处理可有效提高NGT基TiO2塑料薄膜的润湿性。。等离子体处理通过化学或物理作用对工件表面进行处理，蚀刻气体C4F6反应气体电离产生高反应性离子，与表面污染
