目前，3nm蚀刻机价格7nm工艺可以实现，5nm工艺也有一定的技术支持，3nm是硅半导体工艺的物理极限。因此，用硅代替5nm等离子体蚀刻工艺长期以来一直吸引着商业巨头和研究机构的关注。目前，iiI-V化合物半导体、石墨烯、碳纳米管等材料非常受欢迎。目前业界的普遍看法是在PMOS中使用锗，在纳米NMO
