惰性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)和空气，薄膜表面电晕处理的窍门活性气体如氧气(O2)和氢气(H2)。不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，活性气体的电晕具有更强的化学反应活性。不同特性的气体必须有不同的用于清洗的污染物选择。当一种气体渗透一种或多种附加气体时
