湿式清洗包括纯溶液浸泡、机械擦拭、超声波/兆声清洗、旋转喷涂等。相对来说，薄膜电晕放电处理设备干洗是指不依赖化学试剂的清洗技术，包括电晕清洗、气相清洗、束流清洗等。技术和应用条件的差异使得市面上的清洗设备也有明显的差异。目前市面上最主要的清洗设备是单晶圆清洗设备、自动清洗台和洗衣机。从21世纪的跨度
