超声等离子体发生的反应为物理反应，影响胶粘剂附着力的因素射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响最大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。低温等离子体的能量约为几十电子伏特，影响胶粘剂附着
