进行等离子体处理时，电子束表面改性特点是电子比离子更早到达物体表面，表面带负电荷，有利于引发进一步反应。离子与物体表面的相互作用；通常指带正电的阳离子的作用，阳离子有加速冲向带负电表面的趋势。此时，物体表面获得相当大的动能，足以冲击并清除附着在表面的颗粒物。我们把这种现象称为溅射现象，离子的撞击可以
