如果加工时间不长，表面附着力划格法原料的表面温度就会与室内温度相同。13.56兆赫的输出会更低，通常是30度以下。因此，低温真空等离子体更适合加工一些加热后容易变形的原材料。等离子体是等离子体形成的必要条件。这些比较简单，可以看出大气类型取决于所连接的气体，空气压力必须在0.2mpa之间才能产生离子
