辉光等离子体的产生需要氮气和氦气等惰性气体的参与，表面改性的工艺是什么因为这些气体可以产生具有高活性和彭宁效应的亚稳态粒子。DBD等离子清洗机的电极结构传统而常见，如图1所示。常用于材料表面改性和臭氧发生器。其特点是结构简单，金属电极能提高放电产生的换热率。DBD等离子清洗机的第二电极结构是放电发生
