等离子体可以由直流或高频交流电场产生。使用交流时，反应离子刻蚀利川作品应选用电信规定的科研和工业使用频段(MF)40kHz、高频(HF) 13.56mhz、微波频率(MW)2.45CHz，否则会干扰无线电源通信。一般来说，产生等离子体并定位材料。合理的效率与以下几个方面有关。一般在等离子体清洗中，活
