或20MHZ等离子。 40KHZ的自偏置电压约为1000V。 13.56MHZ的自偏电压在250V左右，线缆plasma清洗20MHZ的自偏电压偏低。这三种激励频率的机制是不同的。响应 40KHZ产生的响应是物理响应，13.56MHZ产生的响应既是物理响应又是化学响应。 20MHZ有物理反应，但更重
